蜂窝状构造部件 过滤精度0.003μm 推荐流量20～400L/min
● 高过滤精度、低压力损失
在保持本公司以往产品PGF系列的高过滤性能的基础上，实现了低压力损失。外形尺寸与以往的PGF系列完全相同，处理能力达到了原来的约两倍。
● 蚀刻和薄膜形成时必不可缺的高选择性
在追求高选择性的过程中，极其重要的一点是去除水、氧气等不纯物的问题。为了切实地做到去除不纯物，首先必不可缺的，是在高温状态下进行烘烤。从该观点出发研制出的陶瓷过滤器可进行200℃的高温烘烤。
● 零维护实现成本削减
能够根据粒子粒径大小分阶段进行过滤的三层结构，因此几乎不会有堵塞的问题。并且与以往的过滤器相比，具有高耐久性、高耐热性特征的陶瓷过滤器不会在使用过程中出现故障。所以不会因生产线暂时中断而带来经济损失，并可长期持续地削减成本。
规格：
