管状部件 过滤精度0.1～10μm 推荐流量40～60L/min
● 过滤精度范围宽
可以对应固定或脉冲方式下的0.1～10μm过滤精度。
● 高耐腐蚀性
过滤器没有采用腐蚀性材料，不用担心被腐蚀或者生成中间产物。
● 排气特性
和专用的烘烤加热器并用，APIMS方式测定的排气（水分量）能够达到1.2ppb。继续使用可以达到0.1ppb的水平。过滤器内部的杂质预先采用特殊洗净方式去除，排气性能更加出色。
规格：
管状部件 过滤精度0.1～10μm 推荐流量40～60L/min
● 过滤精度范围宽
可以对应固定或脉冲方式下的0.1～10μm过滤精度。
● 高耐腐蚀性
过滤器没有采用腐蚀性材料，不用担心被腐蚀或者生成中间产物。
● 排气特性
和专用的烘烤加热器并用，APIMS方式测定的排气（水分量）能够达到1.2ppb。继续使用可以达到0.1ppb的水平。过滤器内部的杂质预先采用特殊洗净方式去除，排气性能更加出色。
管状部件 过滤精度0.1～10μm 推荐流量40～60L/min
● 过滤精度范围宽
可以对应固定或脉冲方式下的0.1～10μm过滤精度。
● 高耐腐蚀性
过滤器没有采用腐蚀性材料，不用担心被腐蚀或者生成中间产物。
● 排气特性
和专用的烘烤加热器并用，APIMS方式测定的排气（水分量）能够达到1.2ppb。继续使用可以达到0.1ppb的水平。过滤器内部的杂质预先采用特殊洗净方式去除，排气性能更加出色。
规格：
