过滤精度0.003μm 推荐流量500～3,000L/min
● 超大流量
适用于输入侧一次性流量在500～3,000ℓ/min的大型气体管线场合。
● 高过滤精度
0.003μm的高过滤精度，使用脉动性强的陶瓷元素，几乎不会堵塞，因此几乎没有必要进行定期性的维护。
● 高性能
专用的200℃烘烤加热器（可选项），能把水分、氧等成分控制在ppb以下。
规格：
过滤精度0.003μm 推荐流量500～3,000L/min
● 超大流量
适用于输入侧一次性流量在500～3,000ℓ/min的大型气体管线场合。
● 高过滤精度
0.003μm的高过滤精度，使用脉动性强的陶瓷元素，几乎不会堵塞，因此几乎没有必要进行定期性的维护。
● 高性能
专用的200℃烘烤加热器（可选项），能把水分、氧等成分控制在ppb以下。
过滤精度0.003μm 推荐流量500～3,000L/min
● 超大流量
适用于输入侧一次性流量在500～3,000ℓ/min的大型气体管线场合。
● 高过滤精度
0.003μm的高过滤精度，使用脉动性强的陶瓷元素，几乎不会堵塞，因此几乎没有必要进行定期性的维护。
● 高性能
专用的200℃烘烤加热器（可选项），能把水分、氧等成分控制在ppb以下。
规格：
