金属滤芯RGF系列

管状部件 过滤精度0.1~10μm 推荐流量40~60L/min

● 过滤精度范围宽
可以对应固定或脉冲方式下的0.1~10μm过滤精度。

● 高耐腐蚀性
过滤器没有采用腐蚀性材料,不用担心被腐蚀或者生成中间产物。

● 排气特性
和专用的烘烤加热器并用,APIMS方式测定的排气(水分量)能够达到1.2ppb。继续使用可以达到0.1ppb的水平。过滤器内部的杂质预先采用特殊洗净方式去除,排气性能更加出色。

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管状部件 过滤精度0.1~10μm 推荐流量40~60L/min

● 过滤精度范围宽
可以对应固定或脉冲方式下的0.1~10μm过滤精度。

● 高耐腐蚀性
过滤器没有采用腐蚀性材料,不用担心被腐蚀或者生成中间产物。

● 排气特性
和专用的烘烤加热器并用,APIMS方式测定的排气(水分量)能够达到1.2ppb。继续使用可以达到0.1ppb的水平。过滤器内部的杂质预先采用特殊洗净方式去除,排气性能更加出色。

规格:

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