管状部件 过滤精度0.01μm 推荐流量10～160L/min
● 低压力损失
氮气以10ℓ/min速度通过过滤器，输入侧压力0.1MPa，输出侧压力损失⊿P仅仅为极低的0.01MPa。
● 高过滤精度
0.01μm微粒子去除性能达到99.9999999999％。为超微ULSI制造中的成品率大幅度的提高提供保障。
规格：
管状部件 过滤精度0.01μm 推荐流量10～160L/min
● 低压力损失
氮气以10ℓ/min速度通过过滤器，输入侧压力0.1MPa，输出侧压力损失⊿P仅仅为极低的0.01MPa。
● 高过滤精度
0.01μm微粒子去除性能达到99.9999999999％。为超微ULSI制造中的成品率大幅度的提高提供保障。
管状部件 过滤精度0.01μm 推荐流量10～160L/min
● 低压力损失
氮气以10ℓ/min速度通过过滤器，输入侧压力0.1MPa，输出侧压力损失⊿P仅仅为极低的0.01MPa。
● 高过滤精度
0.01μm微粒子去除性能达到99.9999999999％。为超微ULSI制造中的成品率大幅度的提高提供保障。
规格：
