过滤精度0.003μ 推荐流量40～200L/min
● 高耐腐蚀性
过滤器的外罩采用哈司特镍合金®C-22，滤芯采用陶瓷。这些材料，对HBr、HCl等卤素系反应性腐蚀性气体有很高的耐腐蚀性，极大的发挥了出色的性能。
● 低排气性能
过滤器采用的陶瓷和不锈钢SUS316L等材料相比，水分吸收量少，最适合腐蚀性、反应性特殊气体。此外，全部过滤器交付前经过纯水特殊洗净、烘干，具有出色的排气性能。
● 高过滤精度：0.003μm
滤芯采用三层构造的陶瓷、过滤精度非常出色。全部过滤器在交付时，经CNC粒子计数统计，确认0.003μm的粒子为零后才出货。
规格：
