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小型 ● 大流量(~1,000lpm)型PTFE薄膜气体过滤器开始销售。
小型 ● 大流量PTFE气体过滤器 Mega Flow系列
● 小型 ● 大流量
普通in-line气体过滤器的尺寸就能实现大流量过滤。
● 高效去除粒子的性能
能高效去除0.003μm 以上的粒子。
● 优秀的耐腐蚀性
过滤媒介和辅材全部采用氟烃树脂,外壳使用SUS316L材料。
※从半导体制造装置到PV用大容量气体供给线等广泛的用途上面都能使用。
式样
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