PC-600系列

适合HBr,HCl等卤素系列反应性,腐蚀性特殊气体使用,气体接触部分采用哈司特镍合金,腐蚀性特殊气体专用的压力传送器

半导体设备的生产线中、HBr、HCl等卤素反应性、腐蚀性特殊气体大量被使用。这些腐蚀性气体会在使用的气体供给管道、压力传感器、气体过滤器等不锈钢内表面吸附并 和少量的水分反应,形成腐蚀生成物。这种物质是产生微粒子造成半导体工艺污染的原因。因此,我们采用了远比不锈钢SUS316L具有耐腐蚀性的哈司特镍合金® 开发出这种对应腐蚀性气体的压力传感器PC-600系列。

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适合HBr,HCl等卤素系列反应性,腐蚀性特殊气体使用,气体接触部分采用哈司特镍合金,腐蚀性特殊气体专用的压力传送器

半导体设备的生产线中、HBr、HCl等卤素反应性、腐蚀性特殊气体大量被使用。这些腐蚀性气体会在使用的气体供给管道、压力传感器、气体过滤器等不锈钢内表面吸附并 和少量的水分反应,形成腐蚀生成物。这种物质是产生微粒子造成半导体工艺污染的原因。因此,我们采用了远比不锈钢SUS316L具有耐腐蚀性的哈司特镍合金® 开发出这种对应腐蚀性气体的压力传感器PC-600系列。

● 高耐腐蚀性

对应HBr、HCl等卤素反应性、腐蚀性特殊气体,气体接触部分采用远比不锈钢SUS316L具有耐腐蚀性的哈司特镍合金®,并进行了电解研磨处理,充分发挥了其出色的耐腐蚀性能力。

● 高精度、高可靠性
直线性、滞后性、重复精度的影响造成和最优拟合线的最大偏差为±0.25%,具备高精度和高可靠性。

● 测定范围宽
表压的压力范围从0~172.4KPA(1.76KGf/cm2)到20,684KPa(210KGf/cm2),绝对压的压力范围为0~2,586torr。

● 使用寿命长
各测量范围都通过了100万次的循环耐久测试。

● 输出
输出可以选择4~20mA或0~5V,可以连接各种数字式面板仪表和可编程逻辑控制器。

规格:

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※可选项:表压类型的输出基准可以为真空(-100KPa)。(订购时需要指定)

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